目前Z為成功并Z實(shí)用的微型機(jī)電器件-微型傳感器

微型傳感器是目前zui為成功并實(shí)用性的微型機(jī)電器件，主要包括利用微型膜片的機(jī)械形變產(chǎn)生電信號(hào)輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場(chǎng)傳感器、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1 mm2以下。

隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進(jìn)化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。

汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多的物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是使司機(jī)了解汽車各部分狀態(tài)的；要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。

汽車用溫度傳感器主要用于檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)溫度、吸人氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等。溫度傳感器有熱敏電阻式、線繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類型。這三種類型傳感器各有特點(diǎn)，其應(yīng)用場(chǎng)合也略有區(qū)別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應(yīng)特性較好，但線性差、適應(yīng)溫度較低。

其中，通用型的測(cè)溫范圍為-50℃～30℃，精度為1.5%，響應(yīng)時(shí)間為10 ms；高溫型為600℃～1000℃，精度為5%，響應(yīng)時(shí)間為10ms；線繞電阻式溫度傳感器的精度高，但響應(yīng)特性差；熱偶電阻式溫度傳感器的精度高，測(cè)量溫度范圍寬，但需要配合放大器和冷端處理一起使用。其他已實(shí)用化的產(chǎn)品有鐵氧體式溫度傳感器（測(cè)溫范圍為-40℃～120℃，精度為2.0%）、金屬或半導(dǎo)體膜空氣溫度傳感器（測(cè)溫范圍為-40℃～150℃，精度為2.0%，5%，響應(yīng)時(shí)間約20 ms）等。

微型傳感器應(yīng)用于提高員工工作效率，傳感器通常內(nèi)置于*，或者放在辦公家具上，它們會(huì)記錄員工從辦公桌起立、咨詢其它團(tuán)隊(duì)和舉行會(huì)議的頻率。讓數(shù)據(jù)帶來(lái)了難以從其它途徑獲得的有關(guān)員工工作情況的見解。為了推動(dòng)協(xié)作和提高員工工作效率，它們正利用相關(guān)信息作出大大小小的改變，從確定休息時(shí)間，到編排工作小組。傳感器還能夠揭示員工對(duì)辦公空間的使用方式。